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氮化铬涂层 (CrN)
CrN涂层具有良好的抗粘结性,抗腐蚀性,耐磨性。
用途:加工铝合金,红铜的刀具,注塑模具,零件(特别是有润滑油浸泡)
5)DLC
DLC涂层的组成为TIN+TICN+DLC结构。具有摩擦系数较低,
耐磨损,膜层应力小好等优点
用途:润滑涂层,成型模具,铝合金等粘结性强材料冲压模具。
6)ZrN
ZrN不含Ti和Cr的单成膜,有较高的耐热性,涂层颜色艳丽,在加工铝钛合金时可有效减少切削瘤
溅射技术:
溅射技术按产生等离子体的方式可分为:
a. 利用直流辉光放电的二极溅射;
b. 利用热丝弧光放电的三极溅射;
c. 利用射频放电的射频溅射;
d. 利用封闭跑道磁场控制辉光放电的磁控溅射.
2 磁控溅射阴极结构:
目前工业用磁控溅射装置主要是采用矩形平面磁控溅射阴极(图a),一般使用的靶材尺寸有两种规格: VT机:长×宽×厚(450.5×120×6)mm; ZCK机: 460×100×6.圆柱形磁控溅射阴极也逐步运用到生产当中(图b),两者相比,平面靶材的利用率只有20~30%,即利用率低.
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