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镀钛板种类多,有镀钛毛丝面板、镀钛镜面板及镀钛乱纹板和镀钛雾珠板等,在经过设计师的巧思之下,不同面材可以呈现出不同的空间表现,在使用上,也可以带出线条的俐落、几何的造型等趣味感。目前,镀钛材质常被运用在室内公共空间,如餐厅、客厅或玄关。但如果预算上许可,大也可以用在更衣间或卧房,或设计于桌面。使用镀钛镜面板,其反光效果好,可以让视觉空间变得前卫。用途:特适合加工淬火、钢淬火硬钢、不锈钢、沉淀硬化不锈钢8)黑色劈裂电弧涂层,纳米厚度1-3μm,加工硬度可达58HRC。
射频溅射
采用射频电源代替直流电源,在靶和衬底间施加高频电压,溅射时,靶极会产生自偏压效应(即靶极会自动处于负电位状态),使绝缘靶的溅射得到维持。常用的频率约为13.56兆赫。
优点可以溅射所有材料,包括导体和绝缘体溅射可大规模生产
磁控溅射
磁控溅射通过在靶阴极表面引入正交电磁场,把二次电子束缚在靶表面,成螺旋状运行来增强电离效率,增加离子密度和能量以增加溅射率。电源方面可同时配备直流和射频两种。
其中热阴极电子*蒸发离子镀,利用铜坩埚加热融化被镀金属材料,利用钽灯丝给工件加热、除气,利用电子*增强离化率,不但可以得到厚度 3~5μm的TiN 涂层,而且其结合力、耐磨性均有不俗表现,甚至用打磨的方法都难以除去。但是这些设备都只适合于 TiN涂层,或纯金属薄膜。对于多元涂层或复合涂层,则力不从心,难以适应高硬度材料高速切 削以及模具应用多样性的要求。电子束加热的蒸镀源有直*型电子*和e型电子*两种(也有环行),电子束自源发出,用磁场线圈使电子束聚焦和偏转,对膜料进行轰击和加热。溅射技术:
溅射技术按产生等离子体的方式可分为:
a. 利用直流辉光放电的二极溅射;
b. 利用热丝弧光放电的三极溅射;
c. 利用射频放电的射频溅射;
d. 利用封闭跑道磁场控制辉光放电的磁控溅射.
2 磁控溅射阴极结构:
目前工业用磁控溅射装置主要是采用矩形平面磁控溅射阴极(图a),一般使用的靶材尺寸有两种规格: VT机:长×宽×厚(450.5×120×6)mm; ZCK机: 460×100×6.圆柱形磁控溅射阴极也逐步运用到生产当中(图b),两者相比,平面靶材的利用率只有20~30%,即利用率低.
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