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镀钛是作为金属材料的表面处理的一种工艺,现在已经在工业领域普遍应用并有逐渐推广使用的意向。
在二十世纪七十年代末,人类就已经开始物理气相沉积技术,即PVD技术。物理气相沉积技术可以应用在硬质膜的制造上,它能够提高产品的机械化学性能,使制造出的产品具有高耐磨性、高硬度等性能,还可以减轻摩擦作用。这种技术在刚开始使用时,就在*的工具制造业引起了巨大的反响,受到了高度重视。同时,这种技术工艺符合现代人们对环境无污染加工技术的要求,是一种绿色环保的技术。其缺点是:1)工艺比传统单色PVD的更为复杂,流程更为繁杂,生产难度高。
溅射镀膜基本原理:充(Ar)气的真空条件下,使气进行辉光放电,这时(Ar)原子电离成离子(Ar ),离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。 溅射镀膜中的入射离子,一般采用辉光放电获得,在l0-2Pa~10Pa范围,所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中,易和真空室中的气体分子发生碰撞,使运动方向随机,沉积的膜易于均匀。离子镀基本原理:在真空条件下,采用某种等离子体电离技术,使镀料原子部分电离成离子,同时产生许多高能量的中性原子,在被镀基体上加负偏压。带正电荷的蒸发料离子,在阴极吸引下,随同离子一同冲向工件,当抛镀于工件表面上的蒸发料离子超过溅失离子的数量时,则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。这就是离子镀的简单作用过程。PVD技术四个工艺步骤
(1)清洗工件:接通直流电源,气进行辉光放电为离子,离子轰击工件表面,工件表层粒子和脏物被轰溅抛出;
(2)镀料的气化:即通入交流电后,使镀料蒸发气化。
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