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因此需要合理设计镀膜设备的抽气系统,保证膜材蒸汽分子到达基片表面的速率高于残余气体分子到达的速率,以减少残余气体分子对膜层的撞击和污染,提高膜层的纯度。此外,在10-4Pa时真空室内残余气体的主要组分为水蒸气(约占90%以上),水气与金属膜层或蒸发源均会发生化学反应,生成氧化物而释放出氢气。因此,为了减少残余气体中的水分,可以提高真空室内的温度,使水分解,也是提高膜层质量的一种有效办法。还应注意蒸发源在高温下的放气。在蒸发源通电加热之前,可先用挡板挡住基片,然后对膜材加热去气。 次数用完API KEY 超过次数限制
后处理,涂面漆。第三节溅射镀膜溅射镀膜是指在真空条件下,利用获得功能的粒子轰击靶材料表面,使靶材表面原子获得足够的能量而逃逸的过程称为溅射。被溅射的靶材沉积到基材表面,就称作溅射镀膜。溅射镀膜中的入射离子,一般采用辉光放电获得,在l0-2Pa~10Pa范围,所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中,易和真空室中的气体分子发生碰撞,使运动方向随机,沉积的膜易于均匀。近年发展起来的规模性磁控溅射镀膜,沉积速率较高,工艺重复性好,便于自动化,已适当于进行大型建筑装饰镀膜,及工业材料的功能性镀膜,及TGN-JR型用多弧或磁控溅射在卷材的泡沫塑料及纤维织物表面镀镍Ni及银Ag。第四节电弧蒸发和电弧等离子体镀膜这里指的是PVD领域通常采用的冷阴极电弧蒸发,以固体镀料作为阴极,采用水冷、使冷阴极表面形成许多亮斑,即阴极弧斑。弧斑就是电弧在阴极附近的弧根。 次数用完API KEY 超过次数限制
真空镀膜一种通过物理方法生产薄膜材料的技术。真空室中材料的原子与热源隔离,并撞击要镀覆的物体表面。这项技术*首先用于生产光学透镜,例如船用望远镜透镜。后来扩展到其他功能膜,例如记录铝电镀,装饰涂层和材料表面改性。例如,表壳镀有仿金,然后对机床进行了涂层处理以改变加工硬度。真空镀膜主要使用辉光放电在目标表面击中ya(Ar)离zi。靶的原子被喷射并沉积在基板表面上以形成薄膜。溅射膜的性质和均匀性优于蒸发膜,但是涂布速度比蒸发膜慢得多。 次数用完API KEY 超过次数限制
膜强度的不良(膜弱)主要表现为:①擦拭或用胶带拉撕,产生成片脱落;
②擦拭或用胶带拉撕,产生点状脱落;
③水煮15分钟后用胶带拉撕产生点状或片状脱落;
④用橡皮头、1Kg力摩擦40次,有道子产生;
⑤膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子。
改善思路:基片与膜层的结合是首要考虑的,其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力。膜强度不良的产生原因及对策:①基片与膜层的结合。一般情况,在减反膜中,这是膜弱的主要原因。由于基片表面在光学冷加工及清洗过程中不可避免地会有一些有害杂质附着在表面上,而基片的表面由于光学冷加工的作用,总有一些破坏层,深入在破坏层的杂质 次数用完API KEY 超过次数限制
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